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高精度位置閉環反饋系統
國產替代
光纖引出 安裝方便 適合狹小空間
可按需選擇單通道或雙通道測量版本
| 激光光源 | HeNe激光器 |
| 穩頻方式 | 雙縱模熱穩頻 |
| 激光波長 | 632.8nm(兩路激光波長分別提供) |
| 激光功率 | 0.1~0.3mW/軸 |
| 激光穩頻精度 | <±1ppb 1minute <±2ppb 1hour <±20ppb 8hours |
| 輸出信號格式 | RS422差分方波(AQB) 1Vpp sin/cos模擬信號 |
輸出信號周期 | 158nm(平面反射鏡) 316nm (角錐反射鏡) |
最高測量速度 | 1m/s(平面反射鏡) 2m/s(角錐反射鏡) |
測量范圍 | 0-1m |
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