傳統(tǒng)的激光干涉儀通常需要在被測目標(biāo)上設(shè)置靶鏡，以反射測量光線獲得高精度的測量結(jié)果。鐳測科技推出的LY1000型非接觸式激光回饋干涉儀，無需靶鏡，僅利用待測工件反射甚至是散射的微弱光線即可實(shí)現(xiàn)高精度測量，是真正意義上的非接觸式測量。 除可用于傳統(tǒng)激光干涉儀適用的測量目標(biāo)外，還可適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的目標(biāo)測量，如液面高度、半導(dǎo)體晶圓位置、微機(jī)械位移、材料膨脹系數(shù)、振動(dòng)等。
        
        以下是本產(chǎn)品獨(dú)特的技術(shù)或特點(diǎn)：

1、高靈敏度，可實(shí)現(xiàn)對非配合目標(biāo)的非接觸式測量
2、準(zhǔn)共路技術(shù)有效抑制儀器內(nèi)部環(huán)境變化引起的漂移，儀器具有較小的零漂。
3、具有較高的分辨率和較大量程，測量結(jié)果可以溯源。

       LY1000激光回饋干涉儀的分辨率可達(dá)納米量級，量程可達(dá)2m，如果加擴(kuò)束鏡，可達(dá)數(shù)米。它同干涉儀一樣，測量結(jié)果可以溯源到光波長，從而無需標(biāo)定。
產(chǎn)品由激光測頭、信號處理電箱和軟件組成。

（欲了解更多信息，請閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的：非接觸式激光干涉儀（激光回饋干涉儀）  ）

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

圣路易斯華盛頓大學(xué)用于顯微鏡位移測量

 

回饋干涉儀用戶手冊2019.pdf

鐳測激光精密測量產(chǎn)品手冊-2024.3.pdf

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